由于光电显示行业工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的分类废气,因此电显示行业废气排放具有排气量大,排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。不同生产工艺排气的废气组合主要分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。 与半导体制造工艺相比,半导体封装工艺产生的废气较为简单,主要是酸性气体、环氧树脂及粉尘、酸性废气主要产于电镀等工艺;烘烤废气则产生于晶粒粘贴、封胶后烘烤过程;划片机在晶元切割过程中产生含微量矽尘的废气。

1、工业除尘处理系统

 

 

2工艺制程管道排气系统

 

 

3、酸碱废气处理系统

 

 

4、挥发性有机废气处理系统(VOCs)