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l-s

L/S

用途:对工艺机台排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理,通过高温氧化、还原反应,降低有毒物质浓度。
原理:工艺设备产生的并经过真空泵抽取的废气,通过L/S设备入口管道后被导入内部反应腔,废气在反应腔内分解,分解后形成的副生成物和水壁反应炉的水分反应后,直接流入循环水箱,被分解后的尾排气体及未分解的HCl、HBr、Cl2等水溶性气体则通过洗涤部水洗后流至下游风管排出。
特点:适用于难以分解的含氟化合物或硅烷等有毒废气处理。废气处理性能高,可实现大容量处理;减少SiO2等粉尘的堵塞和排放;急速升降温,开关机所需时间短;高节能、三种运行模式根据生产工况自动切换模式;停电时安全互锁,可防止设备损伤;设备尺寸小。