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LOC-VOC

LOC-VOC

泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含有一定量的挥发性VOCs气体,影响职业健康和产品良率。含有VOCs的气体通过沸石,VOCs被吸附,洁净气体排至车间,小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的VOCs,排至VOCs中央处理装置,集中处理达标排放。