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L/S
用途:对工艺机台排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理,通过高温氧化、还原反应,降低有毒物质浓度。
原理:工艺设备产生的并经过真空泵抽取的废气,通过L/S设备入口管道后被导入内部反应腔,废气在反应腔内分解,分解后形成的副生成物和水壁反应炉的水分反应后,直接流入循环水箱,被分解后的尾排气体及未分解的HCl、HBr、Cl2等水溶性气体则通过洗涤部水洗后流至下游风管排出。
特点:适用于难以分解的含氟化合物或硅烷等有毒废气处理。废气处理性能高,可实现大容量处理;减少SiO2等粉尘的堵塞和排放;急速升降温,开关机所需时间短;高节能、三种运行模式根据生产工况自动切换模式;停电时安全互锁,可防止设备损伤;设备尺寸小。¥ 0.00立即购买
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LOC-VOC
泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含有一定量的挥发性VOCs气体,影响职业健康和产品良率。含有VOCs的气体通过沸石,VOCs被吸附,洁净气体排至车间,小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的VOCs,排至VOCs中央处理装置,集中处理达标排放。¥ 0.00立即购买
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沸石转轮
含有VOCs成分的废气通过沸石,VOCs被吸附,废气达标排放;沸石经过高温气体加热后脱附出高浓度的VOCs,沸石循环使用继续吸附。¥ 0.00立即购买
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蓄热式焚化炉
将VOCs废气导入焚化炉进行燃烧,VOCs废气高温氧化分解后达标排放,并利用陶瓷蓄热材进行热量回收以减少辅助燃料用量。该设备主要分为旋转式和槽式。¥ 0.00立即购买
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直燃式焚化炉
将VOCs废气导入焚化炉进行燃烧,VOCs废气高温氧化分解后达标排放。¥ 0.00立即购买
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