用途：对工艺机台排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，通过高温氧化、还原反应，降低有毒物质浓度。
原理：工艺设备产生的并经过真空泵抽取的废气，通过L/S设备入口管道后被导入内部反应腔，废气在反应腔内分解，分解后形成的副生成物和水壁反应炉的水分反应后，直接流入循环水箱，被分解后的尾排气体及未分解的HCl、HBr、Cl2等水溶性气体则通过洗涤部水洗后流至下游风管排出。
特点：适用于难以分解的含氟化合物或硅烷等有毒废气处理。废气处理性能高，可实现大容量处理；减少SiO2等粉尘的堵塞和排放；急速升降温，开关机所需时间短；高节能、三种运行模式根据生产工况自动切换模式；停电时安全互锁，可防止设备损伤；设备尺寸小。

泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含有一定量的挥发性VOCs气体，影响职业健康和产品良率。含有VOCs的气体通过沸石，VOCs被吸附，洁净气体排至车间，小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的VOCs，排至VOCs中央处理装置，集中处理达标排放。

含有VOCs成分的废气通过沸石，VOCs被吸附，废气达标排放；沸石经过高温气体加热后脱附出高浓度的VOCs，沸石循环使用继续吸附。

将VOCs废气导入焚化炉进行燃烧，VOCs废气高温氧化分解后达标排放，并利用陶瓷蓄热材进行热量回收以减少辅助燃料用量。该设备主要分为旋转式和槽式。

将VOCs废气导入焚化炉进行燃烧，VOCs废气高温氧化分解后达标排放。